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 供求商机详细资料 发布时间:2008-4-12 9:16:46 

半导体单晶圆片蒸发清洗线

 
半导体单晶圆片蒸发清洗线
本设备型号:CGB-XXXX—XX系列,品牌:华林嘉业—CGB适用于微电子半导体各尺寸硅晶圆片的清洗腐蚀,整体设备用料为德国进口磁白色聚丙烯(PP),经雕刻后组合焊接加工而成,门板采用德国透明聚氯乙烯(PVC);腐蚀槽采用德国自然色聚偏二氟乙烯(PVDF);清洗槽采用德国自然色聚丙烯板(NPP);关健部件采用进口原器件。设备的腐蚀槽和清洗槽间的转换由进口SEW驱动,以迅速实现槽与槽之间的硅片转换。另外,此设备腐蚀槽还配有美国聚四氟乙烯加热器、虹吸上排、传感器。清洗槽配有溢流装置,和N2鼓泡装置。适用于微电子半导体行业,也适合于高校化学实验室作实验湿台、腐蚀台。非标规格,具体规格依客户工艺确定
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